芯碁微装公告，公司拟向特定对象发行股票，募资总额不超过82,528.57万元，在扣除发行费用后的募资净额将用于直写光刻设备产业应用深化拓展项目，IC载板、类载板直写光刻设备产业化项目，关键子系统、核心零部件自主研发项目，补充流动资金项目。

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